3B Optik Nano Profilometre Tasarımı ve İmalatı
TÜBİTAK tarafından 1501 Sanayi Ar-Ge Destek Programı kapsamında desteklenen projemiz
Nanometre optik profilometre, iki faz transfer interferometresi modunda ve beyaz ışığın mikroskobik interferometresinde ışık dalgalarının girişimine dayalı olarak çalışır. Faz transfer interferometri modunda, ışık kaynağının spektrumu tek fazlıdır ve iki enterferan ışının faz farkını değiştirerek numuneden veri üretilir ve üç boyutlu yüzey bilgisi alınır. Projemiz kapsamında tek bir analiz ile nano boyutta yüzey pürüzlülüğü, dalgalılığı ve kalınlık ölçümlerini gerçekleştirebilen optik nano profilometre cihazı geliştirilmektedir.